来源：杭氧集团

近日，青岛杭氧电子气纯氮设备开车一次成功，顺利产出产品，纯度和产量均达到设计要求。

据悉，该设备配套青岛杭氧电子气大宗气体项目，为青岛芯恩集成电路有限公司提供电子气级别氮气，纯氮设备产品含氧量要求0.1ppm以下，再经过后处理加工，供应业主。本套电子气项目有“爬坡”的特点，用户氮气需求逐渐增加，根据业主要求，纯氮设备具有低负荷、大操作范围的能力，并采用双塔流程提升提取率，降低能耗，操作负荷范围在38%~105%，目前设备运行在40%左右。此外，针对电子气项目保供要求，做了更多可靠性的配置，后备系统在产品管路波动时可自行补气，如遇到纯氮设备跳车，甚至控制系统故障，停水断电，后备系统仍能平稳供气，确保下游工艺的安全。

随着纯氮设备出氮，青岛杭氧电子气项目二阶段设备全面投入使用。